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產品類型

羅茨干式真空泵機組(JGM系列)

產品說明

JGM、JGH系列多級干式真空泵,結合羅茨與爪型轉子吸氣原理,通過多級轉子的優化組合,最大限度利用了多級羅茨干泵與爪型干式真空泵的優勢,從而在較寬的壓力范圍內獲得較大的實際抽速,高效地實現了潔凈真空環境的獲得。


技術指標

應用領域

重點應用:

    集成電路、太陽能電池、LED領域,可用于裝載腔、傳輸腔等清潔工藝過程,也可用于PVD、刻蝕、多種CVD等一般制程工藝或苛刻制程工藝過程。 

    其他應用:

        真空冶金(回火和退火、鋼脫氣,表面處理熔化,精煉,鑄造和焊接等);
        真空鍍膜系統(玻璃鍍膜、精密光學等);
        真空包裝、食品、化工、醫藥、電機制造等工業蒸餾、蒸發、干燥等。



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